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干式螺桿泵ESDP

發布時間:2017-9-28 丨 閱讀次數:6106 丨 文章來源:admin
干式螺桿泵ESDP
詳細介紹
性能參數
最佳的極限壓力完全無油無水
         沃爾姆ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線,動力節省30%,排氣溫度低,工藝穩定,此產品適用于各種領域的真空工藝,也維持了最佳的真空效率和耐用性。
         ESDP系列不使用油和水,用可變壓縮方式操作,水蒸氣和液態混合工藝,非常適合干燥,溶劑回收,化工,制藥,塑料等各種真空工藝。       
優點及特征:
         吸入效率(提升15%)。
         排氣效率改善(2級可變,連續可變頻率)。
         極限壓力:1*10-2Torr(托)。
         排氣溫度降低50%。
         電力消耗減少30%。
         不使用油和水,不會造成油和水的污染。
         低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運行。
         設計結構簡單,易保養,維修費用低,沒有易損件,壽命長。
         適用范圍廣,具有高真空性能。
         使用壽命長,氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
         不采用機械密封,密封部件無污染,不會因污染而頻繁發生故障。
         前后采用稀有潤滑方式,提高軸承耐用性。
標準配件:
         基座和防護罩
         排氣消聲器及進氣分離器
         吸氣口
         止回閥
         真空計
可選配件:
         吸濾器
         排氣冷凝器
         吸入式氣液分離器
         流量開關及溫度開關
ESDP干式螺桿泵的應用范圍:
         ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
         在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
         制藥行業,用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
         化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
         工業排氣;集中式真空處理系統
         擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
         混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
         涉及無憂污水真空處理的所有應用
         食品行業用于香料,香精濃度,食品包裝等。
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